Создание алгоритма для определения размеров и плотности дефектов с использованием технологии компьютерного зрения

Abstract

Представлен алгоритм обработки изображений поверхности полупроводника, содержащей выявленные травлением дефекты, позволяет повысить достоверность и объективность обработки визуальной информации при определении количества и плотности дефектов на образце. Применение настоящего алгоритма может способствовать как получению значимых научных результатов в области материаловедения полупроводников, так и расширению возможностей промышленной дефектоскопии, позволяя отслеживать качество изделий электронной промышленности не только на конечном этапе, но и непосредственно во время производственного процесса.