Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38473| Название: | Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации |
| Авторы: | Бринкевич, Д. И. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Дата публикации: | 2013 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание: | Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации / Д. И. Бринкевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом : Материалы X Международной конференции, Минск, Беларусь, 24–27 сентября 2013 года / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В.М. Анищик. – Минск, Беларусь: Издательский центр БГУ, 2013. – С. 89-91. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/38473 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 89-91.pdf | 243.3 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.