1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/38473
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.date.accessioned2023-05-18T06:22:04Z-
dc.date.available2023-05-18T06:22:04Z-
dc.date.issued2013-
dc.identifier.citationДефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации / Д. И. Бринкевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом : Материалы X Международной конференции, Минск, Беларусь, 24–27 сентября 2013 года / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В.М. Анищик. – Минск, Беларусь: Издательский центр БГУ, 2013. – С. 89-91.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/38473-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БГУru_RU
dc.titleДефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантацииru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
89-91.pdf243.3 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.