1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/38473
Title: Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации
Authors: Бринкевич, Д. И.
Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Просолович, В. С.
Янковский, Ю. Н.
Issue Date: 2013
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации / Д. И. Бринкевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом : Материалы X Международной конференции, Минск, Беларусь, 24–27 сентября 2013 года / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В.М. Анищик. – Минск, Беларусь: Издательский центр БГУ, 2013. – С. 89-91.
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/38473
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
89-91.pdf243.3 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.