Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38478| Title: | Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию |
| Authors: | Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. Вабищевич, С. А. Степнов, А. К. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, С. А. Вабищевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом (ВИТТ - 2017) : Материалы 12-й Международной конференции, Минск, 19–22 сентября 2017 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2017. – С. 409-411. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/38478 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 409-411.pdf | 231.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.