Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/39126
Title: Прочностные свойства эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией
Authors: Бринкевич, Д. И.
Вабищевич, Н. В.
Вабищевич, С. А.
Просолович, В. С.
Issue Date: 2012
Publisher: Минск : НАН
Citation: Прочностные свойства эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией / Д. И. Бринкевич [и др.] // Весцi НАН Беларусi. Серыя фiз.-тэхн. Навук. - 2012. - № 4– С. 99-104.
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/39126
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
99-103.pdf358.67 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.