Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/39126
Название: Прочностные свойства эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией
Авторы: Бринкевич, Д. И.
Вабищевич, Н. В.
Вабищевич, С. А.
Просолович, В. С.
Дата публикации: 2012
Издатель: Минск : НАН
Библиографическое описание: Прочностные свойства эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией / Д. И. Бринкевич [и др.] // Весцi НАН Беларусi. Серыя фiз.-тэхн. Навук. - 2012. - № 4– С. 99-104.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/39126
Располагается в коллекциях:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
99-103.pdf358.67 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.