Исследование характеристик прохождения энергии СВЧ-поля в плазму возбуждаемого разряда

Abstract

Изучение вопроса о проникновении СВЧ-волны (f =2,45 ± 0,05 ГГц) в центр возбуждаемого ею газо-вого разряда в кислороде в плазмотроне, построенном на базе резонатора прямоугольного типа, проводи-лось применительно к задаче СВЧ-плазмохимической обработки кремниевых пластин. Исследование вы-полнялось тремя независимыми методами: с использованием термопар; по данным показаний введенного в разряд «активного зонда»; измерением электрическими зондами электропроводности пространства, изо-лированного от плазменного объема. Результаты проведенных экспериментов указывают на то, что при уровнях плотности потока СВЧ-мощности в разрядном объеме порядка 0,06…0,08 Вт/см3 происходит проникновение СВЧ-поля в объем зоны разряда. Этот эффект необходимо учитывать при организации процессов плазмохимической обработки (влияние СВЧ-поля на параметры обрабатываемых структур, «загрузочный» эффект, проектирование распределенной системы подвода СВЧ-энергии к зоне обработки, формирующуюся определенную структуру распределения СВЧ-поля в зоне плазмообразования и т.д.) и анализе результатов обработки материалов и структур, подверженных воздействию СВЧ-энергии.