Микропрочностные свойства монокристаллического кремния, выращенного при наложении на расплав сложных электромагнитных полей

Abstract

Методом микроиндентирования исследованы монокристаллы кремния, полученные по методу Чохральского при наложении на расплав комбинированных переменных и стационарных магнитных полей. Экспериментально показано, что микропрочностные характеристики монокристаллического кремния (микротвердость Н, микрохрупкость Z, коэффициент вязкости разрушения K1С и эффективная энергия разрушения γ) зависят от условий выращивания (наложения магнитных полей). Обнаружены существенные различия микропрочностных свойств образцов, вырезанных из нижних и верхних частей одного и того же слитка. Особенности микропрочностных свойств монокристаллического кремния обусловлены различиями в дефектно-примесном составе исследовавшихся пластин.