Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/47912Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Ластовский, С. Б. | - |
| dc.contributor.author | Точилин, Е. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2025-05-30T11:06:21Z | - |
| dc.date.available | 2025-05-30T11:06:21Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Физико-механические свойства пленок диазохинонноволачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии, облученных электронами / Д. И. Бринкевич [и др.] // Актуальный проблемы физики твердого тела : сборник докл. X Междунар. науч. конф., Минск, 22–26 мая 2023 / ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»; редкол.: В. М. Федосюк (пред.) [и др.]. – Минск : А.Н. Вараксин, 2023. – С. 206-209. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/47912 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Минск : А.Н. Вараксин | ru_RU |
| dc.title | Физико-механические свойства пленок диазохинонноволачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии, облученных электронами | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 206-209.pdf | 634.31 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.