Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/47912| Title: | Физико-механические свойства пленок диазохинонноволачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии, облученных электронами |
| Authors: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Ластовский, С. Б. Точилин, Е. В. |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : А.Н. Вараксин |
| Citation: | Физико-механические свойства пленок диазохинонноволачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии, облученных электронами / Д. И. Бринкевич [и др.] // Актуальный проблемы физики твердого тела : сборник докл. X Междунар. науч. конф., Минск, 22–26 мая 2023 / ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»; редкол.: В. М. Федосюк (пред.) [и др.]. – Минск : А.Н. Вараксин, 2023. – С. 206-209. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/47912 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 206-209.pdf | 634.31 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.