Search


Current filters:


Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 1-6 of 6 (Search time: 0.003 seconds).
  • previous
  • 1
  • next
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2016Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Гайшун, В. Е.; Brinkevich, D.; Yankovski, Y.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Gaishun, V.; Prosolovich, V.
2016Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействияхПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Янковский, Ю. Н.
2016О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2016Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, С. Д.
2016Микротвердость пленок сополимеров на основе метилметакрилата, облученных γ-квантамиБринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.
2016Взаимодействие индентора с пленками сополимеров на основе метилметакрилатаВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.