Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38477| Title: | Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях |
| Authors: | Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Янковский, Ю. Н. |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях / В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, С. А. Вабищевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : Сборник научных трудов VII Международной научной конференции, посвященной 50-летию кафедры физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 октября 2016 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2016. – С. 153-155. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/38477 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 153-155.pdf | 474.6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.