Issue Date | Title | Author(s) |
2013 | Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов | Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И. |
2014 | Ионная имплантация позитивных фоторезистов | Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, Н. В.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С. |
2010 | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б. |
2013 | Исследование поверхности полимеров модифицированной радиационной обработкой | Харченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б. |
2022 | Локализация атомов азота в структурах Si–SiO2 | Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Петлицкий, А. Н.; Ковальчук, Н. С.; Соловьев, Я. А.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В.; Odzaev, V.; Prasalovich, U.; Pyatlitski, A.; Kovalchuk, N.; Soloviev, Ya.; Zhigulin, D.; Shestovski, D. |
2011 | Микроиндентирование структур фотополимер - кремний | Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С. |
2018 | Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклон | Головчук, В. И.; Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
2014 | Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
2014 | Пленки полиимида, имплантированные ионами бора | Харченко, А. А.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б. |
2014 | Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремний | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. |
2010 | Физико-механические свойства приповерхностных слоев полиэтилентерефталата и полиимида, модифицированных имплантацией ионов никеля | Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Волобуев, В. С.; Нажим, Ф. А.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Валеев, В. Ф.; Хайбуллин, Р. И. |