Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38468| Title: | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний |
| Authors: | Бринкевич, Д. И. Вабищевич, Н. В. Волобуев, В. С. Лукашевич, М. Г. Просолович, В. С. Оджаев, В. Б. |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний / Д. И. Бринкевич, Н. В. Вабищевич, В. С. Волобуев [и др.] // Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Минск: Белорусский государственный университет, 2010. – С. 208-211. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/38468 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.