Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/437
Title: Микроиндентирование структур фотополимер - кремний
Authors: Вабищевич, Н. В.
Вабищевич, С. А.
Бринкевич, Д. И.
Волобуев, В. С.
Лукашевич, М. Г.
Оджаев, В. Б.
Просолович, В. С.
Issue Date: 2011
Publisher: Полоцкий государственный университет
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки: научно-теоретический журнал.- Новополоцк : ПГУ, 2011. - № 4.- С. 77-83.
Abstract: Представлено исследование методом микроиндентирования физико-механических свойств структур фотополимер – кремний, имплантированных ионами Sb+ с энергией 60 кэВ в интервале флюенсов 11015…51016 cм–2. Обнаружено, что процессы радиационного дефектообразования при низкоэнергетичной ионной имплантации Sb+ структур фотополимер – кремний протекают далеко за областью проецированного пробега ионов Sb+. Эффект радиационного упрочнения полимера наблюдался по всей толщине пленки, причем за слоем внедрения ионов указанный эффект выражен сильнее, что, вероятнее всего, обусловлено процессами радиационного сшивания. Показано, что ионная имплантация приводит к ухудшению адгезионного взаимодействия фотополимерной пленки с кремнием.
Keywords: Энергетика
химия
микроиндентирование
структуры фотополимер-кремний
ионная имплантация
ионы
радиационное упрочнение
упрочнение полимеров
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/437
Appears in Collections:2011, № 4

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
77-83.pdf465.22 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.