Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/28473| Title: | Моделирование процесса ионно-лучевого распыления из кольцевого ионного источника |
| Authors: | Свадковский, И. В. Мельников, С. Н. Кундас, С. П. |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет |
| Citation: | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2004. - № 11. - C. 63-69. |
| Abstract: | Представлена разработанная 3D-модель, позволяющая рассчитывать профиль распределения толщины тонкопленочного покрытия при ионно-лучевом распылении и оптимизировать распылительную систему, включающую в себя подложку, мишень и кольцевой ионный источник на основе ускорителя с анодным слоем. |
| Keywords: | Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/28473 |
| metadata.dc.rights: | open access |
| Appears in Collections: | 2004, № 11 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.