Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/29951| Title: | Адгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантами |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Бринкевич, Д. И. Вабищевич, Н. В. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Минск: БГУ |
| Citation: | Адгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантами / С. А. Вабищевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Международной научной конференции, Минск, 14–16 окт. 2020 г. / редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 161-166. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/29951 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 161-166.pdf | 665.34 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.