Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/36164| Title: | Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Колос, В. В. Зубова, О. А. Vabishchevich, S. Vabishchevich, N. Brinkevich, D. Prosolovich, V. Kolos, V. Zubova, O. |
| Other Titles: | Optical and Strength Properties of Sacrificial Layers Based on Polyimide Films |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой |
| Citation: | Вабищевич, С. А. Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Колос, О. А. Зубова // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2022. - № 11. - С. 53-58. 10.52928/2070-1624-2022-39-11-53-58 |
| Abstract: | Исследованы оптические и прочностные свойства пленок полиимидной композиции (полиимида PI-2610) для создания жертвенного слоя, нанесенной на поверхность пластин монокристаллического кремния марки КДБ-10 методом центрифугирования. Установлено, что они ведут себя как упругопластические материалы. Истинная микротвердость полиимида PI-2610, измеренная при нагрузке 2 г, составляла ~0,5 ГПа. Проведено сравнение спектров нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) полиимида PI-2610 со спектрами НПВО пиррола и полиимида марки каптон. В спектре НПВО полиимида PI-2610 присутствуют полосы колебаний 5-членного кольца и валентных колебаний групп С–Nst и СО–Сst. Наиболее интенсивной полосой в спектре НПВО (как и в пирроле) является полоса деформационных колебаний С–Н с максимумом при 734 см-1. Полоса при ~1700 см-1, обусловленная валентными колебаниями двойной связи С=О, имеет два близкорасположенных максимума при 1706 и 1692 см-1, что свидетельствует о двух вариантах силового поля вокруг связи С=О. Обнаружено присутствие в спектрах полиимида PI-2610 гидроксильных О–Н-групп, обусловленных наличием остаточной воды в структуре полиимида. |
| metadata.local.description.annotation: | Optical and strength properties of films of a polyimide composition (polyimide PI-2610) for creating a sacrificial layer deposited on the surface of single-crystal silicon plates of the KDB-10 brand by centrifugation are investigated. It has been established that they behave like elastoplastic materials. The true microhardness of polyimide PI-2610, measured at a load of 2 g, was ~0,5 GPa. The spectra of the disturbed total internal reflection (NPVO) of polyimide PI-2610 were compared with the spectra of the NPVO of pyrrole and kapton polyimide. In the spectrum of the polyimide PI-2610, there are bands of vibrations of the 5-membered ring and valence vibrations of the C–Nst and CO–Cst groups. The most intense band in the spectrum of NPVO (as in pyrrole) is the band of deformation vibrations C-H with a maximum at 734 cm-1. The band at ~1700 cm-1, caused by valence vibrations of the C=O double bond, has two closely spaced maxima at 1706 and 1692 cm-1, which indicates two variants of the force field around the C=O bond. The presence of hydroxyl O–H groups in the spectra of polyimide PI-2610 was detected due to the presence of residual water in the polyimide structure. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/36164 |
| metadata.dc.rights: | open access |
| metadata.dc.identifier.doi: | 10.52928/2070-1624-2022-39-11-53-58 |
| Appears in Collections: | 2022, № 11 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.