Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/37998
Title: Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии
Authors: Просолович, В. С.
Бринкевич, Д. И.
Колос, В. В.
Зубова, О. А.
Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Issue Date: 2022
Citation: Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии / Просолович В. С. [и др.] // XIV Международная конференция и XIII Школа молодых ученых «Кремний-2022», Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г. - Новосибирск, 2022. – С. 124. DOI 10.34077/SILICON2022-124.
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/37998
metadata.dc.identifier.doi: 10.34077/SILICON2022-124
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
124.pdf345.21 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.