Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/37998
Title: | Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии |
Authors: | Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Колос, В. В. Зубова, О. А. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
Issue Date: | 2022 |
Citation: | Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии / Просолович В. С. [и др.] // XIV Международная конференция и XIII Школа молодых ученых «Кремний-2022», Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г. - Новосибирск, 2022. – С. 124. DOI 10.34077/SILICON2022-124. |
URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/37998 |
metadata.dc.identifier.doi: | 10.34077/SILICON2022-124 |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.