Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38089| Название: | Создание субмикронных структур интегральных микросхем с многоуровневой металлизацией |
| Авторы: | Наливайко, О. Ю. Цивако, А. А. Ковальчук, Н. С. Трусов, В. Л. Чуйко, В. Н. Кисель, А. М. |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой |
| Библиографическое описание: | Наливайко, О. Ю. Создание субмикронных структур интегральных микросхем с многоуровневой металлизацией / О. Ю. Наливайко, А. А. Цивако, Н. С. Ковальчук, В. Л. Трусов, В. Н. Чуйко, А. М. Кисель // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 171-177. |
| Аннотация: | Рассмотрены основные технологические процессы, используемые для производства интегральных микросхем с проектными нормами 0,35 мкм. Предложен маршрут формирования межкомпонентной изоляции канавками, заполненными диэлектриком. Описаны особенности процессов осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного фосфором в процессе роста, осаждения и химико-механической полировки слоев вольфрама, осаждения межуровневого диэлектрика и формирования многоуровневой металлизированной разводки с «контактными столбиками» из вольфрама. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/38089 |
| Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|
| 171-177.pdf | 1.01 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.