Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38099| Title: | Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой |
| Citation: | Вабищевич, С. А. Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 28-33. |
| Abstract: | Методом индентирования изучены прочностные свойства облученных электронами с энергией 5 МэВ флюенсом 3?1016 см-2 пленок диазохинонноволачных фоторезистов ФП9120, SPR-700 и S1813 G2 SP15 на кремнии. Обнаружено возрастание при облучении микротвердости фоторезистивных пленок, обусловленное сшивками молекул фенолформальдегидной смолы, входящей в состав фоторезистов. Установлено, что при облучении имеет место снижение адгезии диазохинонноволачных фоторезистов к монокристаллическому кремнию. К снижению адгезии могут приводить сшивание макромолекул новолака в объеме полимера с изменением плотности фоторезиста и релаксация напряжений в пленке вследствие конформационных перестроек макромолекул в процессе облучения. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/38099 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.