Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38128| Title: | Электротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техники |
| Authors: | Корячко, М. В. Пшонкин, Д. Е. |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой |
| Citation: | Корячко, М. В. Электротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техники / М. В. Корячко, Д. Е. Пшонкин // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 46-51. |
| Abstract: | В работе рассматриваются механизмы формирования расплавленных зон в процессе электрического взрыва тонких пленок алюминия на поверхности пленок нитрида кремния. Проведена оценка величины градиента температур вблизи дорожки металлизации, а также характерных времен динамики расплавленных зон под действием температурного градиента. Обнаружено, что после прохождения одиночного импульса тока дорожка системы Al-Si3N4-Si оплавляется без разрывов. Работа выполнена в рамках гранта Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых ученых (проект МК-1156.2021.4). |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/38128 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.