Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38470| Title: | Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом : Материалы 9-й Международной конференции, Минск, 20–22 сентября 2011 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2011. – С. 104-106. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/38470 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 104-106.pdf | 253.97 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.