Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/39085| Title: | Ионная имплантация позитивных фоторезистов |
| Authors: | Бринкевич, Д. И. Бринкевич, С. Д. Вабищевич, Н. В. Оджаев, В. Б. Просолович, В. С. |
| Issue Date: | 2014 |
| Citation: | Ионная имплантация позитивных фоторезистов / Д. И. Бринкевич [и др.] // Микроэлектроника; Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, 2014. – Т. 43. - № 3– С. 193-199. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/39085 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 193-199.pdf | 518.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.