Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/39085| Название: | Ионная имплантация позитивных фоторезистов |
| Авторы: | Бринкевич, Д. И. Бринкевич, С. Д. Вабищевич, Н. В. Оджаев, В. Б. Просолович, В. С. |
| Дата публикации: | 2014 |
| Библиографическое описание: | Ионная имплантация позитивных фоторезистов / Д. И. Бринкевич [и др.] // Микроэлектроника; Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, 2014. – Т. 43. - № 3– С. 193-199. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/39085 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 193-199.pdf | 518.76 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.