Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/39128| Название: | Зависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращивания |
| Авторы: | Просолович, В. С. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Янковский, Ю. Н. |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издатель: | Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета |
| Библиографическое описание: | Зависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращивания / В. С. Просолович [и др.] // Тезисы докладов VII Международной конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ–2010» (Нижний Новгород, 6–9 июля 2010 г.) / Под редакцией З.Ф. Красильника, Д.А. Павлова. – Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2010. - С. 32. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/39128 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 32.pdf | 225.97 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.