Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/437
Название: Микроиндентирование структур фотополимер - кремний
Авторы: Вабищевич, Н. В.
Вабищевич, С. А.
Бринкевич, Д. И.
Волобуев, В. С.
Лукашевич, М. Г.
Оджаев, В. Б.
Просолович, В. С.
Дата публикации: 2011
Издатель: Полоцкий государственный университет
Библиографическое описание: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки: научно-теоретический журнал.- Новополоцк : ПГУ, 2011. - № 4.- С. 77-83.
Аннотация: Представлено исследование методом микроиндентирования физико-механических свойств структур фотополимер – кремний, имплантированных ионами Sb+ с энергией 60 кэВ в интервале флюенсов 11015…51016 cм–2. Обнаружено, что процессы радиационного дефектообразования при низкоэнергетичной ионной имплантации Sb+ структур фотополимер – кремний протекают далеко за областью проецированного пробега ионов Sb+. Эффект радиационного упрочнения полимера наблюдался по всей толщине пленки, причем за слоем внедрения ионов указанный эффект выражен сильнее, что, вероятнее всего, обусловлено процессами радиационного сшивания. Показано, что ионная имплантация приводит к ухудшению адгезионного взаимодействия фотополимерной пленки с кремнием.
Ключевые слова: Энергетика
химия
микроиндентирование
структуры фотополимер-кремний
ионная имплантация
ионы
радиационное упрочнение
упрочнение полимеров
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/437
Права доступа: open access
Располагается в коллекциях:2011, № 4

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
77-83.pdf465.22 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.