Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/48712| Title: | Модификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмы |
| Authors: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Бринкевич, Д. И. Модификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмы / Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич // Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2024. – С. 37-42. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/48712 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.