Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/49749| Название: | Stabilizing Treatment of Negative Photoresist Films of the AZ nLOF20XX Series on Silicon |
| Авторы: | Prosolovich, V. Brinkevich, D. Grinyuk, E. Yankovskii, Yu. Zubova, O. Brinkevich, S. Vabishchevich, S. |
| Дата публикации: | 2026 |
| Издатель: | Springer Nature |
| Библиографическое описание: | Prosolovich, V.S., Brinkevich, D.I., Grinyuk, E.V. et al. Stabilizing Treatment of Negative Photoresist Films of the AZ nLOF20XX Series on Silicon. Russ Microelectron 54, 589–594 (2025). https://doi.org/10.1134/S106373972560089X |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/49749 |
| DOI: | 10.1134/S106373972560089X |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в Scopus и Web of Science |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 589–594.pdf | 168.83 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.