Browsing by Author Zubova, O.
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2024 | Инфракрасная Фурье-спектроскопия диффузного отражения пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.; Vabishchevich, S. |
| 2024 | Облученные электронами пленки полиимида PI2610 на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Шуляковская, М. Б.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Shulyakovskaya, M.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2022 | Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2023 | Прочностные свойства облученных электронами пленок негативных новолачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2022 | Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
