Поиск


Текущий фильтр:

Новый поиск
Добавить фильтр

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.


Результаты 1-8 из 8.
  • назад
  • 1
  • дальше
Найденные ресурсы:
Дата публикацииНазваниеАвтор(ы)
2021Модификация пленок диазохинон-новолачного фоторезиста имплантацией ионов бора и фосфора при повышенной плотности ионного токаШестовский, Д. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Shestovsky, D.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Yankovsky, U.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.
2021Время жизни носителей заряда в пластинах монокристаллического кремния с пленками диазохинон-новолачного фоторезистаВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Тарасик, М. И.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Tarasik, M.
2020Физико-механические свойства облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2020Радиационно-индуцированные процессы в пленках диазохинон-новолачного резиста на кремнии при имплантации ионов Ag+Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Эспиноза Де Лос Монтеро, Г. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Espinoza De Los Monteros, G.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2022Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.
2021Трещиностойкость пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на пластинах монокристаллического кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2022Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленокВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.
2022Локализация атомов азота в структурах Si–SiO2Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Петлицкий, А. Н.; Ковальчук, Н. С.; Соловьев, Я. А.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В.; Odzaev, V.; Prasalovich, U.; Pyatlitski, A.; Kovalchuk, N.; Soloviev, Ya.; Zhigulin, D.; Shestovski, D.