Search


Current filters:


Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 11-20 of 48 (Search time: 0.003 seconds).
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2013Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2013Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2011Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфораВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2012Микротвердость монокристаллов полупроводниковых материаловВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2016О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2020Физико-механические свойства облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2020Радиационно-индуцированные процессы в пленках диазохинон-новолачного резиста на кремнии при имплантации ионов Ag+Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Эспиноза Де Лос Монтеро, Г. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Espinoza De Los Monteros, G.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2010Сравнительный анализ физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксиейВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.
2010Разупрочнение приповерхностного слоя монокристаллов арсенида галлия при высокотемпературной обработкеБринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.
2010Физико-механические свойства кремния, облученного электронами и нейтронамиВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.