Issue Date | Title | Author(s) |
2022 | Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
2025 | Индентирование пленок негативных фоторезистов для обратной литографии | Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Зубова, О. А.; Танана, О. В.; Вабищевич, Н. В.; Исмайлов, Б. К.; Vabishchevich, S.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Zubova, O.; Tanana, O.; Vabishchevich, N.; Ismaylov, B. |
2024 | Инфракрасная Фурье-спектроскопия диффузного отражения пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.; Vabishchevich, S. |
2022 | Исследование структуры полиимидных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
2024 | Облученные электронами пленки полиимида PI2610 на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Шуляковская, М. Б.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Shulyakovskaya, M.; Kolos, V.; Zubova, O. |
2022 | Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
2025 | Оптические и прочностные свойства пленок негативного фоторезиста AZ nLOF 5510 на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Абрамов, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
2025 | Пленки негативного фоторезиста AZ nLOF 5510, облученные электронами | Абрамов, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Кенжаев, Зоир Тохир ўғли; Ластовский, С. Б.; Abramov, S.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Zubova, O.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Kenzhaev, Zoir t.; Lastovskii, S. |
2023 | Прочностные свойства облученных электронами пленок негативных новолачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
2022 | Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |