Skip navigation
Home
Browse
Communities
& Collections
Browse Items by:
Issue Date
Author
???browse.menu.type???
Help
Language
English
русский
Sign on to:
My DSpace
User Registration
Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
Search
Search:
All of DSpace
Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
Публикации в Scopus и Web of Science
Публикации в зарубежных изданиях
Публикации в изданиях Республики Беларусь
for
Current filters:
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Start a new search
Add filters:
Use filters to refine the search results.
Title
Author
Subject
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Results 1-10 of 11 (Search time: 0.294 seconds).
previous
1
2
next
Item hits:
Issue Date
Title
Author(s)
2016
Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Гайшун, В. Е.
;
Brinkevich, D.
;
Yankovski, Y.
;
Vabishchevich, S.
;
Vabishchevich, N.
;
Gaishun, V.
;
Prosolovich, V.
2010
Особенности дефектообразования в кремнии, имплантированном ионами с удельной энергией ∼1 МэВ/Нуклон
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
2017
Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Вабищевич, С. А.
;
Степнов, А. К.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
2014
Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Русакевич, Д. А.
;
Янковский, Ю. Н.
2016
Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях
Просолович, В. С.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Янковский, Ю. Н.
2013
Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации
Бринкевич, Д. И.
;
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
2013
Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния
Просолович, В. С.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
2011
Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
2012
Микротвердость монокристаллов полупроводниковых материалов
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
;
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
2016
О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнии
Бринкевич, Д. И.
;
Просолович, В. С.
;
Янковский, Ю. Н.
;
Вабищевич, С. А.
;
Вабищевич, Н. В.
Discover
Author
1
Yankovski, Y.
1
Гайшун, В. Е.
1
Русакевич, Д. А.
1
Степнов, А. К.
.
< previous
Subject
1
ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ
1
Индентирование
1
Кремний
1
Микротвердость
1
Склерометрия
1
Физика
1
Фоторезист
Date issued
1
2017
3
2016
1
2014
2
2013
1
2012
1
2011
2
2010