Search


Current filters:
Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 1-10 of 30 (Search time: 0.014 seconds).
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2021Модификация пленок диазохинон-новолачного фоторезиста имплантацией ионов бора и фосфора при повышенной плотности ионного токаШестовский, Д. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Shestovsky, D.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Yankovsky, U.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.
2021Время жизни носителей заряда в пластинах монокристаллического кремния с пленками диазохинон-новолачного фоторезистаВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Тарасик, М. И.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Tarasik, M.
2020Физико-механические свойства облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2020Радиационно-индуцированные процессы в пленках диазохинон-новолачного резиста на кремнии при имплантации ионов Ag+Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Эспиноза Де Лос Монтеро, Г. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Espinoza De Los Monteros, G.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2022Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.
2021Трещиностойкость пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на пластинах монокристаллического кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.
2022Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленокВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.
2005Микротвердость кремния, легированного неодимомВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Явид, В. Ю.
2002Магнитотранспортные характеристики монокристаллического кремния с включениями гадолинияБринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Лукашевич, М. Г.; Мазаник, А. А.; Просолович, В. С.; Самохвал, В. В.; Янковский, Ю. Н.
2017Спектры отражения гамма-облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезистаВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Харченко, А. А.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д.