Search


Current filters:
Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 1-10 of 24 (Search time: 0.002 seconds).
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2014Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремнийВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.
2013Исследование поверхности полимеров модифицированной радиационной обработкойХарченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.
2014Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2015Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2012Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2017Спектры отражения гамма-облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезистаВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Харченко, А. А.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д.
2013Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионовВабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И.
2011Микроиндентирование структур фотополимер - кремнийВабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.
2011Упрочнение кремния вблизи границы раздела SiO[2]/SiБринкевич, Д. И.; Петров, В. В.; Просолович, В. С.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Петлицкий, А. Н.
2008Микротвердость пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бораВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.