Showing results 12 to 31 of 60
< previous
next >
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2013 | Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2013 | Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов | Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И. |
| 2010 | Зависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращивания | Просолович, В. С.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н. |
| 2023 | Индентирование облученных электронами пленок диазохинон-новолачных фоторезистов на кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2022 | Индентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Черный, В. В.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2014 | Ионная имплантация позитивных фоторезистов | Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, Н. В.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С. |
| 2010 | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б. |
| 2013 | Исследование поверхности полимеров модифицированной радиационной обработкой | Харченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б. |
| 2015 | Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2012 | Кислородсодержащие дефекты, формирующиеся при выращивании монокристаллов кремния в слабом вертикальном постоянном магнитном поле | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С. |
| 2022 | Локализация атомов азота в структурах Si–SiO2 | Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Петлицкий, А. Н.; Ковальчук, Н. С.; Соловьев, Я. А.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В.; Odzaev, V.; Prasalovich, U.; Pyatlitski, A.; Kovalchuk, N.; Soloviev, Ya.; Zhigulin, D.; Shestovski, D. |
| 2002 | Магнитотранспортные характеристики монокристаллического кремния с включениями гадолиния | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Лукашевич, М. Г.; Мазаник, А. А.; Просолович, В. С.; Самохвал, В. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2011 | Микроиндентирование структур фотополимер - кремний | Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С. |
| 2011 | Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2012 | Микромеханические свойства эпитаксиальных слоев GaP<Dy> | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С. |
| 2012 | Микропрочностные свойства приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2002 | Микротвердость ковалентных полупроводников, легированных редкоземельными примесями | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Явид, В. Ю. |
| 2005 | Микротвердость кремния, легированного неодимом | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Явид, В. Ю. |
| 2012 | Микротвердость монокристаллов полупроводниковых материалов | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2008 | Микротвердость пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
