Showing results 35 to 54 of 62
< previous
next >
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2018 | Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклон | Головчук, В. И.; Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2014 | Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2014 | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Русакевич, Д. А.; Янковский, Ю. Н. |
| 2013 | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2015 | Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния имплантированных ионами В+ и Р+ в процессе создания полупроводниковых приборов по КМОП технологии | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2024 | Облученные электронами пленки полиимида PI2610 на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Шуляковская, М. Б.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Shulyakovskaya, M.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2022 | Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2010 | Особенности дефектообразования в кремнии, имплантированном ионами с удельной энергией ∼1 МэВ/Нуклон | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2010 | Особенности физико-механических свойств облученного Si:Ge | Просолович, В. С.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И. |
| 2023 | Пленки позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120, имплантированные ионами серебра | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2024 | Пленки полиимида, имплантированные ионами марганца | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Ющик, А. В.; Харченко, А. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Lukashevich, M.; Yushchik, A.; Kharchenko, A. |
| 2010 | Приповерхностное упрочнение пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2023 | Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| 2023 | Прочностные свойства облученных электронами пленок негативных новолачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2014 | Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремний | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+ | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, С. Д. |
| 2022 | Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2012 | Прочностные свойства эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С. |
