Showing results 1 to 20 of 69
next >
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2014 | Physical and mechanical properties of silicon near the SiO2/Si interface | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С. |
| 2020 | Адгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантами | Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2022 | Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2021 | Адгезия гамма-облученных пленок позитивного фоторезиста к монокристаллическому кремнию | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2020 | Адгезия к монокристаллическому кремнию пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, имплантированных ионами бора и фосфора | Вабищевич, С. А.; Бринкевич, С. Д.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| 2021 | Адгезия облученных пленок диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию | Вабищевич, С. А.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Brinkevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2018 | Атомно-силовая микроскопия пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста, имплантированного ионами бора | Вабищевич, С. А.; Васюков, А. В.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| 2008 | Взаимодействие атомов золота с преципитатами кислорода в монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, О. Н.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Взаимодействие индентора с пленками сополимеров на основе метилметакрилата | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| 2017 | Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию | Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Степнов, А. К.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И. |
| 2021 | Время жизни носителей заряда в пластинах монокристаллического кремния с пленками диазохинон-новолачного фоторезиста | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Тарасик, М. И.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Tarasik, M. |
| 2013 | Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантации | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2013 | Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов | Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И. |
| 2010 | Зависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращивания | Просолович, В. С.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н. |
| 2023 | Индентирование облученных электронами пленок диазохинон-новолачных фоторезистов на кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2022 | Индентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Черный, В. В.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2025 | Индентирование пленок негативных фоторезистов для обратной литографии | Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Зубова, О. А.; Танана, О. В.; Вабищевич, Н. В.; Исмайлов, Б. К.; Vabishchevich, S.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Zubova, O.; Tanana, O.; Vabishchevich, N.; Ismaylov, B. |
| 2024 | Инфракрасная Фурье-спектроскопия диффузного отражения пленок негативных фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O.; Vabishchevich, S. |
| 2014 | Ионная имплантация позитивных фоторезистов | Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, Н. В.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С. |
| 2010 | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б. |
