Showing results 1 to 20 of 26
next >
| Issue Date | Title | Author(s) |
| Sep-2018 | Атомно-силовая микроскопия пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста, имплантированного ионами бора | Вабищевич, С. А.; Васюков, А. В.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| Mar-2016 | Взаимодействие индентора с пленками сополимеров на основе метилметакрилата | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| Jun-2021 | Время жизни носителей заряда в пластинах монокристаллического кремния с пленками диазохинон-новолачного фоторезиста | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Тарасик, М. И.; VABISHCHEVICH, S.; VABISHCHEVICH, N.; BRINKEVICH, D.; PROSOLOVICH, V.; TARASIK, M. |
| Mar-2013 | Дефектообразование в фоторезисте за слоем внедрения ионов | Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Простомолотов, А. И. |
| Sep-2013 | Исследование поверхности полимеров модифицированной радиационной обработкой | Харченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б. |
| Oct-2015 | Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| Mar-2011 | Микроиндентирование структур фотополимер - кремний | Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С. |
| Aug-2012 | Микромеханические свойства эпитаксиальных слоев GaP<Dy> | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С. |
| 2005 | Микротвердость кремния, легированного неодимом | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Явид, В. Ю. |
| Mar-2015 | Микротвердость пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| Sep-2017 | Микротвердость пленок полиимида и полиэтилентерефталата, облученных гамма-квантами 60Co | Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| Sep-2016 | Микротвердость пленок сополимеров на основе метилметакрилата, облученных γ-квантами | Бринкевич, С. Д.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| Jul-2018 | Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклон | Головчук, В. И.; Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| Oct-2014 | Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| Mar-2015 | Модификация приповерхностных слоев монокристаллов кремния имплантированных ионами В+ и Р+ в процессе создания полупроводниковых приборов по КМОП технологии | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2010 | Особенности дефектообразования в кремнии, имплантированном ионами с удельной энергией ∼1 МэВ/Нуклон | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| Oct-2014 | Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремний | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. |
| Sep-2016 | Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+ | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, С. Д. |
| May-2020 | Радиационно-индуцированные процессы в пленках диазохинон-новолачного резиста на кремнии при имплантации ионов Ag+ | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Эспиноза де лос Монтеро, Г. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; VABISHCHEVICH, S.; VABISHCHEVICH, N.; ESPINOZA de los MONTEROS, G.; BRINKEVICH, D.; PROSOLOVICH, V. |
| 2016 | Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии=Measurement of microhardness of photoresist films on silicon by the scratching method | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Гайшун, В. Е.; Brinkevich, D. I.; Yankovski, Y. N.; Vabishchevich, S. A.; Vabishchevich, N. V.; Gaishun, V. E.; Prosolovich, V. S. |
