Showing results 41 to 60 of 60
< previous
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2016 | О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2022 | Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2010 | Особенности дефектообразования в кремнии, имплантированном ионами с удельной энергией ∼1 МэВ/Нуклон | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2010 | Особенности физико-механических свойств облученного Si:Ge | Просолович, В. С.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И. |
| 2023 | Пленки позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120, имплантированные ионами серебра | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2010 | Приповерхностное упрочнение пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2023 | Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| 2023 | Прочностные свойства облученных электронами пленок негативных новолачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2014 | Прочностные свойства структур фоторезист ФП9120 - кремний | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Прочностные свойства структур фоторезист – кремний, γ-облученных и имплантированных ионами В+ и Р+ | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, С. Д. |
| 2022 | Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V.; Kolos, V.; Zubova, O. |
| 2012 | Прочностные свойства эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С. |
| 2020 | Радиационно-индуцированные процессы в пленках диазохинон-новолачного резиста на кремнии при имплантации ионов Ag+ | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Эспиноза Де Лос Монтеро, Г. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Espinoza De Los Monteros, G.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2016 | Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Гайшун, В. Е.; Brinkevich, D.; Yankovski, Y.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Gaishun, V.; Prosolovich, V. |
| 2017 | Спектры отражения гамма-облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезиста | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Харченко, А. А.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д. |
| 2010 | Сравнительный анализ физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С. |
| 2021 | Трещиностойкость пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на пластинах монокристаллического кремния | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2011 | Упрочнение кремния вблизи границы раздела SiO[2]/Si | Бринкевич, Д. И.; Петров, В. В.; Просолович, В. С.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Петлицкий, А. Н. |
| 2020 | Физико-механические свойства облученных пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Vabishchevich, S.; Vabishchevich, N.; Brinkevich, D.; Prosolovich, V. |
| 2010 | Формирование примесно-дефектных комплексов в кремнии, выращенном при наложении на расплав магнитных полей | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С. |
